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合肥市政府副市長路軍，新站高新區(qū)黨工委書記、管委會主任王連貴，區(qū)黨工委副書記、管委會副主任藍(lán)天，上海小勐拉99廳集團(tuán)董事長蔣淵，合肥至微半導(dǎo)體有限公司董事長廖世保等出席量產(chǎn)儀式，相關(guān)行業(yè)協(xié)會以及上下游合作企業(yè)代表參加。

該項目投資約10億元，包括晶圓再生和半導(dǎo)體部件再生。其中，晶圓再生項目是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)的12英寸晶圓再生產(chǎn)線，不僅填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈的空白，也為合肥打造“中國IC之都”提供了強(qiáng)勁支撐。

上海小勐拉99廳潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司成立于2000年，致力于半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)以及相關(guān)專業(yè)服務(wù)，2017年初在上交所上市。合肥至微半導(dǎo)體有限公司，是小勐拉99廳科技旗下半導(dǎo)體晶圓再生和部件再生項目的載體，為集成電路企業(yè)12英寸晶圓提供晶圓再生及零部件再生服務(wù)。晶圓再生指的是通過去除損耗控?fù)跗砻娴碾s質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達(dá)到新片的標(biāo)準(zhǔn)，實現(xiàn)其循環(huán)再利用，進(jìn)而為企業(yè)節(jié)約大量成本。至微項目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計基。欠務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)的12英寸晶圓再生產(chǎn)線。項目全面達(dá)產(chǎn)后，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值至少可超過6億元。

合肥至微半導(dǎo)體鳥瞰

項目的成功量產(chǎn)，來之不易。從2020年3月開工起，一直在努力克服新冠疫情的干擾。對此，小勐拉99廳集團(tuán)董事長蔣淵也深有感觸。“當(dāng)初小勐拉99廳被合肥的產(chǎn)業(yè)布局格局吸引，被新站的務(wù)實作風(fēng)打動，決定將小勐拉99廳科技的晶圓再生業(yè)務(wù)落地在此。經(jīng)歷新冠疫情的影響，小勐拉99廳克服了很多困難，在年內(nèi)就完成了大部分設(shè)備的搬入，今年的3月，工廠開始試生產(chǎn)。到這個月，隨著ISO認(rèn)證的順利通過，已經(jīng)有了正式訂單開始量產(chǎn)。”她表示，企業(yè)將重研發(fā)，抓質(zhì)量，立志成為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體工藝裝備材料提供商，代表本土品牌參與國際競爭。

新站高新區(qū)黨工委書記、管委會主任王連貴在致辭中指出，將繼續(xù)主動為企業(yè)提供精準(zhǔn)服務(wù)，支持企業(yè)發(fā)展，促進(jìn)項目量產(chǎn)后盡早達(dá)產(chǎn)滿產(chǎn)，推動合肥集成電路產(chǎn)業(yè)更加高質(zhì)量發(fā)展。